ATM Plasma Silent Discharge

2004.06.19 16:11

관리자 조회 수:64557 추천:239

Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을  동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.

Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli,  J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92281
89 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
88 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
87 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 484
86 plasma striation 관련 문의 [1] file 474
85 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 472
84 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 471
83 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 469
82 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
81 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 457
80 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 455
79 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 450
78 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 447
77 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 446
76 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 445
75 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 437
74 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 436
73 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 434
72 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 432
71 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
70 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423

Boards


XE Login