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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76723
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16 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 474
15 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 457
14 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 450
13 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 450
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11 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 431
10 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 419
9 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 405
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7 [Update] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력 [1] 371
6 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 370
5 OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] 327
4 플라즈마 식각 커스핑 식각량 311
3 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 260
2 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 195
1 OES Actinometry 측정 방법 19

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