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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어]
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동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문
[1] | 333 |
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DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]
[1] | 331 |
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RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제
[1] | 311 |
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PEALD 챔버 세정법
[1] | 307 |
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플라즈마 설비에 대한 질문
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PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파]
[1] | 293 |
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해]
[1] | 265 |
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Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다.
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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[문의] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력
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