Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
629 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19162 |
628 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19072 |
627 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19049 |
626 | 플라즈마에 관하여... | 18960 |
625 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18875 |
624 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18768 |
623 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
622 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
621 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18731 |
620 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18654 |
619 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
618 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
617 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18545 |
616 | 최적의 펌프는? | 18540 |
615 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
614 | RF compensate probe | 18452 |
613 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
612 | 물리적인 sputterting | 18366 |
611 | Faraday shielding & Screening effect | 18352 |
610 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.