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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[62]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Bias 관련 질문 드립니다.
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Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
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RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 230 |
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Plasma Cleaning 관련 문의
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230 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 170 |
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안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
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ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요?
[1] | 2977 |
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227 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 331 |
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226 |
전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 388 |
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데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 702 |
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224 |
플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
[1] | 210 |
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223 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 435 |
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222 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[1] | 485 |
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221 |
전자 온도 구하기
[1]  | 345 |
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220 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 117 |
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219 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 515 |
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218 |
잔류시간 Residence Time에 대해
[1] | 184 |
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
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