Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무
2023.01.16 16:15
Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.
해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.
실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76864 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20265 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68750 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92670 |
277 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144602 |
276 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134452 |
275 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54937 |
274 | RF frequency와 RF power 구분 | 39083 |
273 | Self Bias | 36389 |
272 | 플라즈마 밀도 | 30009 |
271 | 플라즈마의 정의 | 29485 |
270 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29402 |
269 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
268 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28549 |
267 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28380 |
266 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27871 |
265 | 플라즈마 온도 | 27805 |
264 | 이온과 라디칼의 농도 | 27016 |
263 | self bias (rf 전압 강하) | 26732 |
262 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 26176 |
261 | plasma와 arc의 차이는? | 24738 |
260 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24122 |
259 | self Bias voltage | 24075 |
258 | plasma and sheath, 플라즈마 크기 | 23986 |
상압 플라즈마에 대한 연구를 수행하는 기관으로 광운대학교의 최은하 교수님 연구 센터를 방문해 보시면 좋습니다. 또는 KFR 의 플라즈마 기술연구소의 김상봉 박사님 연구팀에 문의드려 보시면 좋을 것 같습니다.