Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76750 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92308 |
274 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144502 |
273 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134446 |
» | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54903 |
271 | RF frequency와 RF power 구분 | 39068 |
270 | Self Bias | 36384 |
269 | 플라즈마 밀도 | 29971 |
268 | 플라즈마의 정의 | 29470 |
267 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29398 |
266 | 반도체 관련 질문입니다. | 28579 |
265 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28523 |
264 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28346 |
263 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27830 |
262 | 플라즈마 온도 | 27784 |
261 | 이온과 라디칼의 농도 | 26999 |
260 | self bias (rf 전압 강하) | 26716 |
259 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 26167 |
258 | plasma와 arc의 차이는? | 24675 |
257 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24122 |
256 | self Bias voltage | 24037 |
255 | plasma and sheath, 플라즈마 크기 | 23975 |