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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
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273 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 161
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255 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 451
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