Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
2017.09.07 15:11
현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.
자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.
근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.
그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요
RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.
이게 왜 그런지 알고 싶습니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76866 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20269 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57198 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68750 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92690 |
137 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2730 |
136 | 질문있습니다. [1] | 2583 |
135 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2438 |
134 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2435 |
133 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2334 |
132 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2286 |
131 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2267 |
130 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2249 |
129 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2248 |
128 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2179 |
127 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2149 |
126 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2138 |
125 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2065 |
124 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 2010 |
123 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1986 |
122 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1960 |
121 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1939 |
120 | 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] | 1927 |
119 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! | 1864 |
118 | 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] | 1844 |