DC glow discharge 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?

2016.06.02 13:58

민윤기 조회 수:1960

플라즈마 띄울때


산소 소모량이 40 l/min이라고 합니다.


(공기평균 분자량은 29 g/mol)이라고 괄호가 쳐있구요


만약 Ar일때는 분당 몇 l가 소모될까요???


자세한 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76868
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
117 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 976
116 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1393
» 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1960
114 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4212
113 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1702
112 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2249
111 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2179
110 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
109 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
108 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3559
107 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9249
106 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6472
105 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8997
104 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8929
103 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54937
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12769
101 안녕하세요 교수님. [1] 9043
100 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8582
99 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13065
98 MFP에 대해서.. [1] 7830
쓰기
태그

Boards

XE Login