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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76960
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111213
281 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 201
280 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 415
279 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 455
278 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 456
277 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 457
276 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 484
275 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 486
274 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 488
273 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 490
272 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 515
271 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 516
270 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 526
269 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 527
268 Druyvesteyn Distribution 541
267 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 552
266 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 570
265 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 571
264 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 582
263 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 638
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 641

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