Others O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다.
2017.02.12 00:26
안녕하세요 세종대학교에 재학중인 학부생 김지현 입니다.
저는 방학동안에 연구실에서 실험을 배우는 중입니다. 저희 연구실은 그래핀에 대해 연구하는 곳입니다.
제가 photo lithography를 배우는 과정중에 산소 플라즈마 처리를 사용하는데, 플라즈마가 무엇인지 궁금하여 공부중입니다.
plasma etching에 대해 찾아보던중에 사용하는 기체들이 용도에 따라서 다른데 그 차이점들을 알고 싶습니다,
그래핀을 O2 플라즈마에서 처리하는데 왜 O2를 사용하는지 궁금합니다. 즉 O2플라즈마의 특성에 대해 궁금합니다.
그리고 질소플라즈마와 아르곤 플라즈마의 특성과 차이점이 무엇인지 궁금합니다.
질문이 다소 복잡해서 다시 정리하자면 플라즈마 에칭 공정을 할때 용도에 따라 다른 기체들을 사용하는데, 어떠한 특성때문에
다른지 궁금합니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92294 |
133 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
132 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1292 |
131 | DC bias (Self bias) [3] | 11263 |
130 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9521 |
129 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1973 |
128 | RF frequency와 RF power 구분 | 39064 |
127 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
126 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2765 |
125 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
124 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
123 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
122 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
121 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1424 |
» | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6183 |
119 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1445 |
118 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
117 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 962 |
116 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1389 |
115 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1955 |
114 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4180 |