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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[275]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1764 |
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1696 |
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114 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1692 |
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113 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1685 |
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112 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1633 |
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111 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1567 |
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110 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1535 |
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109 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1512 |
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108 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1466 |
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강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1451 |
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106 |
PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1445 |
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105 |
O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1427 |
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104 |
플라즈마 관련 교육
[1] | 1412 |
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103 |
플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1391 |
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102 |
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1] | 1361 |
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101 |
Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 1358 |
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CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1341 |
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99 |
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1296 |
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98 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1289 |
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97 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1248 |
