Plasma in general self bias

2023.03.13 16:58

브로 조회 수:544

self bias에 대한 개념을 교수님 말씀 읽고 숙지하였습니다 .감사합니다. 

그렇다면 교수님, self bias의 정의를 두 전극에 RF바이어스를 가했을 시,면적의 차이 등으로 인해 두 전극에 나타나는 전위차로 설명하는 것은 잘못된 설명인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
257 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 588
256 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 270
255 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 484
254 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 595
253 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 155
252 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 417
251 corona model에 대한 질문입니다. [1] 170
250 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 215
249 plasma 공정 중 색변화 [1] 639
248 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 322
» self bias [1] 544
246 Self bias 내용 질문입니다. [1] 848
245 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 173
244 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 895
243 plasma modeling 관련 질문 [1] 388
242 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1142
241 플라즈마 관련 교육 [1] 1416
240 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 453
239 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1259
238 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 698

Boards


XE Login