Ion/Electron Temperature 플라즈마내의 전자 속도
2009.10.16 04:52
플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76865 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20266 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68750 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92681 |
| 97 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8126 |
| 96 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15886 |
| 95 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22185 |
| 94 | cross section 질문 [1] | 19720 |
| 93 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17727 |
| 92 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
| 91 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
| 90 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19195 |
| 89 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21335 |
| » | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21911 |
| 87 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17997 |
| 86 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18012 |
| 85 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19358 |
| 84 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19557 |
| 83 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18759 |
| 82 | 궁금해서요 | 16316 |
| 81 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20974 |
| 80 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] | 22857 |
| 79 | self bias (rf 전압 강하) | 26732 |
| 78 | 궁금합니다 [1] | 16178 |