Plasma in general RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law]

2021.12.06 14:03

피했습니다 조회 수:1874

안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79257
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21270
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58068
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69625
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94418
240 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 527
239 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1424
238 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 790
237 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 560
236 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 657
235 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1306
234 Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency] [1] 3637
233 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5025
» RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law] [1] 1874
231 Plasma Cleaning 관련 문의 [Remote plasma source] [1] 1524
230 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계] [1] 1895
229 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 487
228 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 8974
227 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1485
226 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1079
225 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1600
224 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 821
223 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2199
222 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2364
221 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1295
쓰기
태그

Boards

XE Login