안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.

보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다

그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다

또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.

기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76403
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
270 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 27
269 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 60
268 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 120
267 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 173
266 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 542
265 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 256
264 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 281
» RF 주파수에 따른 차이점 [1] 604
262 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 338
261 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 467
260 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 365
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 273
258 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 317
257 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 477
256 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 202
255 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 382
254 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 514
253 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 133
252 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 334
251 corona model에 대한 질문입니다. [1] 166

Boards


XE Login