Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:137

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76752
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92316
274 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 update 3
273 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 174
272 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 218
271 Microwave & RF Plasma [1] 117
270 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 102
269 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 137
267 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
266 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 640
265 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 369
264 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 309
263 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 705
262 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 373
261 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 507
260 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 422
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 312
258 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 347
257 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 567
256 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 252
255 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 459
쓰기
태그

Boards

XE Login