안녕하세요 교수님

저는 C2H2 플라즈마 코팅을 공부하고 있는데요.

실험시에 가스 방출의 문제가 있어서 질문드립니다.

 

먼저, 대상 금속은 크롬강에 경질크롬도금을 한 육면체에 C2H2 가스를 플라즈마

형태로 분사하여 플라즈마 코팅을 하고 있습니다.

그런데, 코팅을 하고 나면 드문드문 하얗게 동그란 형태 또는 액체가 흘러내린

현태로 가스가 배출되어 배출된 면에 코팅이 되어 가지고 해결 워인을 찾고 

있습니다.

 

제가 아는 상식선에서 통상 가스는 경질크롬도금을 할 때 황산욕, 또는 크롬산욕을

하는 과정에서 수소가 크롬도금층에 생성되므로 이것을 약 170℃ 정도로 장시간

열처리 하면 가스가 빠지는 것으로 아는데, 

열처리를 하고 나서 세척후 코팅을 하면 꼭 한두 포인트씩 가스가 나오고 있습니다.

 

그래서 의문이 생겼는데, 이 가스가 경질 크롬 도금에서 나오는 것이 아니라 혹시

C2H2의 성분상의 가스가 이온분리되면서 나타나는 가능이 없는지 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57410
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
279 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] 10
» C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 42
277 Druyvesteyn Distribution 53
276 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 86
275 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 141
274 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 145
273 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 146
272 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 152
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 164
270 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 168
269 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 176
268 Microwave & RF Plasma [1] 177
267 corona model에 대한 질문입니다. [1] 179
266 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 205
265 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 227
264 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 230
263 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 265
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 293
261 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 328
260 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 337

Boards


XE Login