kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 93 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17706 |
| 92 | 반도체 관련 질문입니다. | 28579 |
| 91 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
| 90 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
| 89 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21330 |
| 88 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21895 |
| 87 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17973 |
| 86 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
| 85 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
| 84 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19539 |
| 83 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
| 82 | 궁금해서요 | 16316 |
| 81 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
| 80 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] | 22852 |
| 79 | self bias (rf 전압 강하) | 26713 |
| 78 | 궁금합니다 [1] | 16177 |
| 77 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
| 76 | Three body collision process | 20649 |
| 75 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17751 |
| 74 | 플라즈마의 정의 | 18042 |