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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포]
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플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge]
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Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition]
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교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath]
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177 |
wafer bias [Self bias]
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Group Delay 문의드립니다. [마이크로파]
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N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델]
[1] | 2938 |
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ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘]
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VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS]
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쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion]
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상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브]
[2] | 1228 |
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plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소]
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프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath]
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
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O2 Plasma 에칭 실험이요
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플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films]
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플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]
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RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계]
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RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher]
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Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리]
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