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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65701
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127 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2171
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114 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3246
113 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1523
112 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2094
111 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2041
110 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3109
109 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1342
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