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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20230 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57178 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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155 |
O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다.
[2] | 6196 |
154 |
OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다.
[1] | 5932 |
153 |
RF Vpp 관련하여 문의드립니다.
[1] | 5681 |
152 |
RF power에 대한 설명 요청드립니다.
[1] | 5163 |
151 |
Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 4826 |
150 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 4191 |
149 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 3969 |
148 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 3798 |
147 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 3768 |
146 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3727 |
145 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3558 |
144 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 3462 |
143 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3444 |
142 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3425 |
141 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3399 |
140 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3324 |
139 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3214 |
138 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 3166 |
137 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 3118 |
136 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2776 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.