Sheath RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교

2023.01.11 20:48

aky123 조회 수:879

안녕하십니까 식각 관련 업무를 배우고 있는 엔지니어입니다. 알아본 바로는 LF일 때의 Sheath 영역이 HF일때보다 더 두껍다, 크다 라고 알고 있습니다. 이온의 이동성으로 생각해봤을 때, LF일 때가 HF일때 보다 이온이 반응할 수 있는 시간이 길고 이동이 더 가능하다. 즉, 이온의 밀집지역이 전극에서 더 멀어져있다, Sheath 영역이 더 두껍다 라고 이해했는데 이 생각이 맞는지 궁금합니다.

그리고 etch 진행시 LF power를 인가하면 Ion bombardment를 이용할 수 있다고 했는데, Sheath 영역이 더 두껍기 때문에 Ion을 끌어오기 더 용이해서라고 이해하면 되는지 궁금합니다. 답변주시면 감사하겠습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76794
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20230
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68723
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92516
215 교수님 질문이 있습니다. [1] 747
214 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 763
213 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 783
212 Collisional mean free path 문의... [1] 788
211 플라즈마 충격파 질문 [1] 802
210 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 812
209 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 824
208 Self bias 내용 질문입니다. [1] 829
207 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 855
206 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 859
205 문의 드립니다. [1] 869
» RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 879
203 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 942
202 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 957
201 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 960
200 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 960
199 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 969
198 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 972
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1005
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1013
쓰기
태그

Boards

XE Login