Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
2017.09.07 15:11
현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.
자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.
근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.
그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요
RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.
이게 왜 그런지 알고 싶습니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92294 |
193 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1038 |
192 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1050 |
191 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1081 |
190 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1118 |
189 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1120 |
188 | wafer bias [1] | 1129 |
187 | 전자 온도 구하기 [1] | 1131 |
186 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1132 |
185 | 자기 거울에 관하여 | 1139 |
184 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1144 |
183 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1157 |
182 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1226 |
181 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1237 |
180 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1242 |
179 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1282 |
» | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1292 |
177 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1332 |
176 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1345 |
175 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1354 |
174 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1389 |