Plasma in general 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과]

2021.06.16 14:00

피했습니다 조회 수:1271

안녕하세요 교수님 언제나 좋은 정보 감사합니다.

 

저는 건식 세정 장비 회사에 다니는 엔지니어 입니다.

 

책을 통해서 공부를 하고 있는 중 플라즈마 전압과 플로팅 전압 차를 이용해 이온이 기판에 충돌하는 에너지를 구하는 식을 배웠습니다.

(식은 혹시 몰라 첨부파일에 사진으로 올렸습니다.)

 

그래서 저희 장비 기준으로 충돌 에너지를 구해 보고자 했는데, 문제는 Te 항인 전자의 온도를 어떻게 구해야하는지 모르겠어서 이렇게 문의 드립니다.

 

플라즈마 전자의 온도를 어떻게 구할 수 있나요?

 

그리고 분모에 있는 e = 1.6 * 10^-19 C 이 맞는지요 ? 

 

감사합니다.

 

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