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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20179
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1405
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1441
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1445
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1506
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1561
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1605
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1676
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1683
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1688
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1751
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1792
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1843
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1860
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1906
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1951
155 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1970
154 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1984

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