Collision 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의
2013.07.17 17:19
안녕하세요~
저는 분석장비 판매 회사에 다니고 있습니다.
저희장비중에 3000도까지 올리는 유도가열로가있는데 이 장비는 챔버안에 유도코일이있고 그 가운데에 그라파이트 도가니를 넣습니다. 도가니 안에는 그라파이트 파우더가 들어가있구요.
그리고 챔버 커버를 다 닫은 후 처음에는 진공을 잡습니다. 약 2.8 x10-2까지 그리고 나서 아르곤 가스를 넣어주는데 약 30분정도 흘려주고 히팅을 시작하는데 이때 플라즈마 현상이 발생하고 파워가 현저히 떨어지는것을 볼수 있습니다.
정상동작이라면 이 플라즈마가 없어야 되는데...이 플라즈마가 발생하게되어 장비를 사용못하고 있는 상태입니다.
원인이 진공상태에서 히팅을 가해서 그런가 생각되어 챔버내 아르곤 가스 량을 측정해보았으나 아르곤 압력은 약 0.035Mpa정도 나왔습니다. 또한 그라파이트 파우더가 코일과 주변부를 오염시켜 쇼트 문제인가 해서 챔버도 닦아 봤지만 여전히 같은 현상이 발생합니다.
이 플라즈마 현상이 왜 발생하는지 원인을 알수있을까 해서 이렇게 문의를 드립니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76734 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
153 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2017 |
152 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2127 |
151 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2128 |
150 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2173 |
149 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2222 |
148 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2236 |
147 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2239 |
146 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
145 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
144 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2397 |
143 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2433 |
142 | 질문있습니다. [1] | 2572 |
141 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
140 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2765 |
139 | CVD 공정에서의 self bias [1] | 3101 |
138 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3165 |
137 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3204 |
136 | RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] | 3299 |
135 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3383 |
134 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3414 |