Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.

2021.02.16 15:54

blackstar 조회 수:28523

안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76751
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92310
274 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 new 3
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 101
272 Microwave & RF Plasma [1] 117
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
270 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 137
269 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 149
268 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
267 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 171
266 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 174
265 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
264 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
263 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 218
262 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
261 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 252
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 309
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 312
258 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 316
257 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
256 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 347
쓰기
태그

Boards

XE Login