안녕하십니까, 교수님. 전자과에 재학중인 3학년 학부생입니다.

 

EEDF에서 Bi-maxwellian과 Druyvesteyn 분포가 나타나는 원인에 대해 알아보고 있는데,

Bi-maxwellian 분포는  저압에서 나타나고, 낮은 에너지 그룹의 전자들에 대한 EEDF가 하락하며,

반면 Druyvesteyn 분포는 고압에서 나타나고, 높은 에너지 그룹의 전자들에 대한 EEDF가 하락한다고 알게 되었습니다.

 

Bi-maxwellian 분포에서 낮은 에너지 그룹의 전자들에 대한 EEDF가 하락하는 것은, E-mode에서는 낮은 에너지의 전자들이 쉬스 내로 진입하지 못하고, H-mode에서는 Skin depth 내로 진입하지 못하기 때문이라고 생각했습니다.(Skin layer와 Sheath의 region이 겹치므로)

다만 이것이 '저압'과 무슨 관계가 있는지는 잘 떠오르지 않습니다.

+) 이러한 접근이 아닌, 저압=저밀도 플라즈마=E-mode, 고압=고밀도 플라즈마=H-mode로 해석해야 할까요?

 

Druyvesteyn 분포에서 높은 에너지 그룹의 전자들에 대한 EEDF가 하락하는 것은, 고압의 경우 전자-중성종의 충돌 주파수가 RF 주파수보다 유의미하게 높을 것이고, 높은 에너지의 전자들은 이러한 충돌이 더욱 빈번하기 때문에 에너지를 얻기 힘들다고 생각해보았는데, 맞는 접근 방법인지 궁금합니다.

 

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77206
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57360
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92945
278 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 36
» Druyvesteyn Distribution 47
276 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 67
275 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 130
274 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 133
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 139
272 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 151
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 151
270 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 165
269 Microwave & RF Plasma [1] 167
268 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 176
267 corona model에 대한 질문입니다. [1] 178
266 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 201
265 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 224
264 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 229
263 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 257
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 285
261 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 328
260 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 333
259 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 337

Boards


XE Login