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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68811
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92811
278 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 22
277 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 23
276 Druyvesteyn Distribution 25
275 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 103
274 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 103
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128
272 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 141
271 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 144
270 Microwave & RF Plasma [1] 146
269 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 157
268 corona model에 대한 질문입니다. [1] 172
267 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 174
266 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 198
265 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 219
264 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 226
263 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 235
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 276
261 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 298
260 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 325
259 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 325

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