Plasma in general (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법]

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:697

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.

 

(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.

 

일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.

 

원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.

 

일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....

 

교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.

 

그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.

 

감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

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