Plasma in general (PAP)plasma absorption probe관련 질문

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:415

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73078
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17643
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65732
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86105
228 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 405
227 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 406
226 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 411
» (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 415
224 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 432
223 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 437
222 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 454
221 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 473
220 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 475
219 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 485
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 489
217 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 512
216 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 516
215 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 531
214 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 546
213 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 555
212 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 584
211 교수님 질문이 있습니다. [1] 604
210 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 605
209 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 638
쓰기
태그

Boards

XE Login