Others Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]

2020.09.08 09:59

양심만세 조회 수:1078

안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.

궁금한 점이 있어 문의 드립니다.

 - DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.

 - 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.

어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.

감사합니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78472
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57866
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69399
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93943
260 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 365
259 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 366
258 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 385
257 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 391
256 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 407
255 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 421
254 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 428
253 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 438
252 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 467
251 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 472
250 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 485
249 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 498
248 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 501
247 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 506
246 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 506
245 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 514
244 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 521
243 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 525
242 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 538
241 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 538
쓰기
태그

Boards

XE Login