Plasma in general self bias

2023.03.13 16:58

브로 조회 수:530

self bias에 대한 개념을 교수님 말씀 읽고 숙지하였습니다 .감사합니다. 

그렇다면 교수님, self bias의 정의를 두 전극에 RF바이어스를 가했을 시,면적의 차이 등으로 인해 두 전극에 나타나는 전위차로 설명하는 것은 잘못된 설명인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76751
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92313
234 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 507
» self bias [1] 530
232 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
231 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
230 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 567
229 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 582
228 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
227 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 590
226 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 594
225 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
224 plasma 공정 중 색변화 [1] 610
223 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 640
222 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 668
221 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
220 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 690
219 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 705
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 708
217 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
216 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 737
215 교수님 질문이 있습니다. [1] 745

Boards


XE Login