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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61091
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78635
157 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1113
156 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1118
155 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1125
154 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1158
153 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1179
152 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1190
151 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1231
150 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1235
149 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1236
148 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1258
147 질문있습니다. [1] 1345
146 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1357
145 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1442
144 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1456
143 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1638
142 플라즈마볼 제작시 [1] file 1719
141 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1753
140 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1760
139 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 1824
138 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1894

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