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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1262 |
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플라즈마 내에서의 현상
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강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1273 |
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데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1274 |
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플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1351 |
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N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 1381 |
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쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1400 |
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RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY
[1] | 1404 |
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1501 |
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CVD 공정에서의 self bias
[1] | 1527 |
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질문있습니다.
[1] | 1530 |
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ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
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플라즈마 관련 기초지식
[1] | 1577 |
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플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
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RIE에서 O2역할이 궁금합니다
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 1802 |
