번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4863
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16200
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83486
161 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1103
160 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1147
159 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1167
158 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1169
157 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1188
156 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1220
155 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1224
154 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1277
153 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1299
152 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1305
151 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1347
150 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1374
149 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1387
148 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1390
147 질문있습니다. [1] 1428
146 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1445
145 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1511
144 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1525
143 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1715
142 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1803

Boards


XE Login