대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데, 

관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다. 


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76883
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20279
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57200
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68755
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1005
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1017
195 플라즈마 코팅 [1] 1038
194 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1040
193 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1049
192 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1060
191 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1099
190 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1136
189 wafer bias [1] 1139
188 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1141
187 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1142
186 자기 거울에 관하여 1146
185 전자 온도 구하기 [1] file 1150
184 Group Delay 문의드립니다. [1] 1151
183 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1166
182 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1244
181 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1248
180 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1259
179 플라즈마 기초입니다 [1] 1291
178 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1308

Boards


XE Login