안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20488
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57409
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68939
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
199 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 990
198 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 998
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1011
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1030
195 플라즈마 코팅 [1] 1048
194 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1060
193 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1062
192 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1069
191 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1126
190 자기 거울에 관하여 1152
189 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1157
188 Group Delay 문의드립니다. [1] 1161
187 wafer bias [1] 1163
186 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1175
185 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1180
184 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1186
183 전자 온도 구하기 [1] file 1188
182 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1258
181 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1275
180 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1300

Boards


XE Login