안녕하세요 

현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다. 

 

다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.

 

책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.

혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다

 

감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77272
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57400
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68922
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92970
198 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 994
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1011
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1030
195 플라즈마 코팅 [1] 1048
194 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1059
193 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1061
192 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1069
191 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1124
190 자기 거울에 관하여 1152
» 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1156
188 Group Delay 문의드립니다. [1] 1161
187 wafer bias [1] 1162
186 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1175
185 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1180
184 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1180
183 전자 온도 구하기 [1] file 1183
182 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1258
181 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1275
180 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1298
179 플라즈마 기초입니다 [1] 1302

Boards


XE Login