Plasma in general 데포 중 RF VDC DROP 현상

2021.07.29 15:44

공효준 조회 수:1509

안녕하세요 반도체회사 장비 엔지니어입니다. 

박막 과정 데포 중 RF VDC가 드랍 되는 현상이 있습니다. GAS양, CH 내 PRESSURE, 등등 변하는 것이 없는데 왜 갑자기 DROP 되는 걸까요?

영향을 줄만한 인자가 어떤 것이 있을까요? 장비를 잘 쓰다가 갑자기 DROP이 일어나고 그 이후는 다시 올라 오지 않습니다 ㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1435
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1446
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1449
» 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1509
166 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1528
165 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1533
164 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1563
163 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1576
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1630
161 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1645
160 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1669
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1676
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1836
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1846
156 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1878
155 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1891
154 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1903
153 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1907
152 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2053
151 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2072

Boards


XE Login