안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1435
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1446
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1449
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1509
166 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1528
165 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1533
164 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1563
» RF 전압과 압력의 영향? [1] 1576
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1630
161 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1645
160 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1669
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1676
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1836
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1846
156 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1878
155 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1891
154 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1903
153 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1907
152 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2053
151 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2072

Boards


XE Login