Ion/Electron Temperature RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
2017.06.06 16:47
RF prequency가 증가하면 plasma 상태에서 중성을 유지하려는 힘보다 커져서 중성상태를 깨트릴 수 있다는 의미로 이해하였는데요. 이러면 ion energy가 증가해야하는것이 아닌가요?
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76668 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20149 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57149 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92158 |
| 153 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 1998 |
| 152 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2115 |
| 151 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2117 |
| 150 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2171 |
| 149 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2179 |
| 148 |
플라즈마볼 제작시
[1]  | 2232 |
| 147 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2234 |
| » | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2280 |
| 145 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
| 144 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2373 |
| 143 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2430 |
| 142 | 질문있습니다. [1] | 2566 |
| 141 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2725 |
| 140 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2759 |
| 139 | CVD 공정에서의 self bias [1] | 3086 |
| 138 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3165 |
| 137 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3190 |
| 136 | RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] | 3279 |
| 135 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3362 |
| 134 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3401 |