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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경]
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플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
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플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential]
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wafer bias [Self bias]
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RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
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플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis]
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RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택]
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진학으로 고민이 있습니다. [복수전공]
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance]
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플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI]
[2] | 1515 |
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Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
[2] | 1494 |
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동]
[1] | 1488 |
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플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
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plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학]
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Group Delay 문의드립니다. [마이크로파]
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쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion]
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Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념]
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3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존]
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Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위]
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Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭]
[1] | 1391 |