번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75432
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56480
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67563
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89370
22 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 367
21 plasma 공정 중 색변화 [1] 358
20 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 356
19 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 350
18 plasma modeling 관련 질문 [1] 330
17 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 324
16 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 285
15 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 231
14 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 231
13 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 209
12 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 204
11 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 194
10 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 166
9 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 162
8 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 149
7 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 147
6 corona model에 대한 질문입니다. [1] 127
5 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 124
4 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 123
3 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 120
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