안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
152 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6122
151 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5910
150 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5648
149 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5115
148 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4739
147 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4126
146 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3914
145 Descum 관련 문의 사항. [1] 3698
144 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3672
143 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3658
142 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3552
141 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3435
140 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3390
139 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3362
138 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3315
137 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3224
136 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
135 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3163
134 CVD 공정에서의 self bias [1] 3032
133 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2719

Boards


XE Login