안녕하세요 저는 유니스트에 재학중인 대학원생 홍석모입니다.


제가지금 ICP CVD장비를 사용하고 있는데 플라즈마에 대한 배경지식이 없어서 혹시나 도움이 될까 글을 남겨 봅니다.


지금 저희가 쓰고 있는 장비의 스펙에 대해서 간단히 설명드리면

cylinder type

출력 주파수 13.56MHz 

주파수 안정도 ±0.005% 

RF 출력 임피던스 50 ohm nominal 

AC 입력Power Line 208/220/230 Vac/단상 50-60Hz 

정격RF Power Output YSR-06MF: 600W @ 50 ohm. 

RF Output Connector N Type 

DIMENSION 482W * 458D * 178H / 36Kg

그리고 작동 압력은 0.1 torr에서 0.01torr사이에서 작동 하고 있습니다.


제가 궁금한것은 power와 ionenergy사이의 관계를 알고 싶고, 시뮬레이션이 가능하다면 어떤 프로그램으로 할수 있는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.


감사합니다.


홍석모.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77200
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20461
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57359
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92944
138 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2744
137 질문있습니다. [1] 2593
136 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2494
135 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2442
134 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2347
133 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2320
132 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2294
131 플라즈마볼 제작시 [1] file 2268
130 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2257
129 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2187
128 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2169
127 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2166
126 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2139
125 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2039
124 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 2022
» ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 2014
122 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1982
121 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1957
120 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1920
119 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1875

Boards


XE Login