Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
2021.02.16 15:54
안녕하세요.
국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.
궁금한 점은
DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.
압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.
이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76748 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92305 |
| 94 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1238 |
| 93 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1227 |
| 92 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1157 |
| 91 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1144 |
| 90 | 자기 거울에 관하여 | 1140 |
| 89 |
전자 온도 구하기
[1]  | 1134 |
| 88 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1132 |
| 87 | wafer bias [1] | 1129 |
| 86 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1121 |
| 85 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1119 |
| 84 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1082 |
| 83 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1050 |
| 82 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1038 |
| 81 | 플라즈마 코팅 [1] | 1036 |
| 80 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1031 |
| 79 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1011 |
| 78 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1001 |
| 77 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 968 |
| 76 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 962 |
| 75 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 959 |