Sheath PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위]

2017.05.31 11:57

음월 조회 수:3330

안녕하세요? 궁금한 사항이 있어 게시글을 남깁니다.

플라즈마를 통한 CCP etcher 의 경우 PE모드와 RIE모드가 있는것으로 알고 있습니다.

이 두경우는 상부전극에 RF를 걸어주느냐, 하부기판에 RF를 걸어주느냐에 따라 분류됨을 알고있습니다.

그런데 쉬스의 경우에는 RIE 모드에서만 기판 가까이 형성이 되고, PE 모드에서는 기판에 형성이 되지 않는다는

자료를 보아서, 궁금하여 질문을 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101797
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24433
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61083
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73117
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105277
161 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [나노 분말 생성 및 제어 연구] [1] 6600
160 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6246
159 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 6204
158 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length] [1] 5672
157 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5423
156 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant] [4] 5179
155 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수] [1] 4882
154 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas] [1] 4521
153 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4519
152 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 4346
151 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4336
150 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 4256
149 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다 [고주파 플라즈마 반응 특성] [2] 4253
148 Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency] [1] 3993
147 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3886
146 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3777
145 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3708
144 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3692
» PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위] [1] 3330
142 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3235
쓰기
태그

Boards

XE Login