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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66844
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91 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1382
90 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1352
89 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1351
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87 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1304
86 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1303
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81 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1164
80 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1137
79 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1120
78 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1104
77 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1093
76 자기 거울에 관하여 1065
75 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1063
74 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1055
73 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1037
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