안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

저번에 재료에 따른 이온풍에 대해 질문했었는데요 오늘은 다른 질문을 하러 왔습니다.

저는 wire-plate로 전극을 구성해서 wire에 +극 고전압을 인가해서 코로나 방전을 시키고 있습니다.

이번에 재료를 바꾸면서 실험을 했었는데 이해가 잘 되지 않은 부분이 있습니다.

저는 플라즈마 공간 유지에 있어서 wire의 재질특성이 이온화 에너지가 낮아야 방전이 잘되고 plate의 재질특성이 전기전도도가 낮아야 플라즈마 공간이 잘 유지된다고 생각하고 있습니다.

wire의 재질이 이온화 에너지가 낮아야 된다고 생각한 이유는 이온화 에너지가 낮을 수록 방전 개시전압이 낮아지고 그만큼 플라즈마 공간 형성이 용이 하다고 생각했기 때문입니다.

다음으로 plate의 재질이 전기전도도가 낮아야 된다고 생각한 이유는 전기전도도가 높으면 방전이 일어나면서 plate로 손실되는 에너지가 클 것이라고 생각했기 때문입니다.

하지만 막상 실험을 해본결과 이온화에너지가 가장 낮은 은보다 니켈이 더 성능이 좋았고, 전기전도도가 낮은 텅스텐보다 은이 성능이 더 좋았습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79588
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21343
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58134
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94606
140 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 2790
139 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [LF와 Sheath] [1] 2689
138 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2678
137 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 2537
136 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2500
135 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2399
134 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2375
133 플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전] [1] file 2352
132 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2329
131 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2312
130 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2266
129 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2264
128 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE] [1] 2250
» 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2239
126 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2208
125 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [Lorentz force와 magnetic confinement] [1] 2164
124 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2128
123 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2071
122 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2059
121 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장] [1] 1959

Boards


XE Login