Plasma in general (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법]

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:697

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.

 

(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.

 

일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.

 

원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.

 

일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....

 

교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.

 

그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.

 

감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102970
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61448
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105860
81 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1265
80 자기 거울에 관하여 1246
79 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1241
78 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1236
77 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1230
76 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1224
75 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1214
74 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1203
73 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1202
72 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1193
71 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1190
70 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1183
69 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1168
68 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1165
67 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1137
66 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1086
65 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1083
64 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 1081
63 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1060
62 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1058
쓰기
태그

Boards

XE Login