Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] | 2361 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 12952 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 49619 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 61116 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 79626 |
37 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 451 |
36 |
전자 온도 구하기
[1] ![]() | 435 |
35 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 435 |
34 | RF 전압과 압력의 영향? [1] | 432 |
33 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] ![]() | 417 |
32 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 410 |
31 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 408 |
30 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 405 |
29 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 394 |
28 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 387 |
27 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 372 |
26 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] ![]() | 366 |
25 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 350 |
24 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 348 |
23 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 332 |
22 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 332 |
21 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 326 |
» | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 319 |
19 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 315 |
18 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 314 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .